Abbe

OPC 阿贝(Abbe)模型与霍普金斯(Hopkins)模型 相同点 这两个模型都是用来计算晶圆上电场强度（即光强）分布 不同点 在阿贝模型中，入射到掩膜上不同角度的平面波经过掩膜后的衍射场需要根据掩膜后的衍射场需要根据实际情况来确定。在霍普金斯模型中，入射到掩膜上不同角度的平面波经过掩膜后的衍射场 ......